QRM-MicroCT-Barpattern-NANO微CT測(cè)試模體，MicroCT-Barpattern-NANO卡詳細(xì)介紹：

QRM-MicroCT-Barpattern-NANO微型CT測(cè)試模體，MicroCT-Barpattern-NANO納米顯微CT柱狀測(cè)試卡，采用雙硅芯片相互垂直、通過(guò)塑料支架固定的設(shè)計(jì)理念，使兩個(gè)3 x 3 mm2芯片均呈現(xiàn)數(shù)組線狀或點(diǎn)狀圖樣，寬度和直徑從1µm到10µm不等。

QRM-MicroCT-Barpattern-NANO微CT測(cè)試模體，MicroCT-Barpattern-NANO納米顯微CT柱狀測(cè)試技術(shù)參數(shù)：
柱狀部分：
直徑：5.2 mm
總長(zhǎng)：19.1 mm
材料：致密塑料

芯片部分：
直徑：2.96 mm
總長(zhǎng)：0.66 mm
材料：硅
芯片上圖樣尺寸范圍：1µm至10µm
圖樣深度：5µm至15µm
對(duì)比材料：硅/空氣

QRM-MicroCT-Barpattern-NANO微型CT測(cè)試模體，MicroCT-Barpattern-NANO納米顯微CT柱狀測(cè)試卡芯片上有一個(gè)傾斜的邊緣(字母“L"字樣)以及一個(gè)西門(mén)子星卡圖樣(呈放射狀)。不同的圖樣結(jié)構(gòu)均以這樣的方式排布于芯片上，從而使用戶僅通過(guò)一次曝光和測(cè)量就可以對(duì)整個(gè)芯片的中心以及外圍的空間分辨率做出評(píng)估。
作為我們流行的MicroCT-BarPattern-Phantom的進(jìn)一步發(fā)展，我們現(xiàn)在推出BarPattern-NANO！